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膜厚仪
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Filmetrics F50型反射膜厚仪
方便测量不同厚度范围
自动移动样品实现多点测量
准确度1-2nm或者0.2%
重复性小于0.05nm
测量厚度、折射率、反射率和穿透率:
单层膜或多层膜叠加
单一膜层
液态膜或空气层
不同条件下的测量,包括:
在平面或弯曲表面
光斑最小可达20微米
桌面式、XY坐标自动化膜厚测量,或在线配置
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