冷场发射扫描电子显微镜（SEM）的特点_苏州苏童半导体有限公司

冷场发射扫描电子显微镜（SEM）的特点

苏州苏童半导体有限公司 2022-06-29 16:05:24 作者:SystemMaster

好的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm

2. 日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品

3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像

4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能

5. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能

6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成

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