仪器名称

测试项目

电学（ Keithley
4200 、 Agilent B1500）

IV、CV

霍尔

方块电阻、载流子浓
度、迁移率

非接触方阻测
量仪

方块电阻、电阻率

椭偏仪

薄膜厚度、光学常数

变温 PL

PL 谱

扫描电镜 SEM
（热场、冷场、环境）

微观形貌

能谱元素分析

常温阴极荧光/ 电子
束诱导感生电流

环境扫描或低真空模
式

TF20 透射电镜

TEM 测试

能谱测试

STEM 测试

HT7700 透射电
镜

形貌像

能谱

Talos 透射电镜

TEM

STEM

能谱 Mapping

透射电镜制样

TEM 截面样品

切割、抛磨、减薄设
备使用费

溅射镀膜仪

喷金

喷铂或碳

Ilion 制样

Ilion 制样

原子力显微镜
AFM

形貌

Agilent G200 纳
米压痕仪

压入、划痕、原位扫
描成像

纳米粒度仪和
Zeta 粒度仪

粒度测试

高分辨X 射线衍
射仪

双晶、三轴晶摇摆曲
线，ω/2θ扫描

粉末X 射线衍射
仪

物相分析