测量模式 轻敲模式 扫描范围 90µm x 90µm x 10µm 样品尺寸 150mm×150mm×15mm（XYZ） 样品台移动范围 150mm x 150mm，旋转式 噪声水平 ≤50pm 光学辅助观察系统 5 百万像素数字摄像头,观察范围：180μm ~1465μm,自动缩放及聚焦 软件系统 功能强大的测试及分析软件