扫描电镜成像基础
扫描电镜衬度的形成主要基于样品微区诸如表面形貌、原子序数或化学成分、晶体结构或取向等方面存在着差异。
二次电子（SE）
入射电子受样品的散射与样品的原子进行能量交换，使样品原子的外层电子受激发而逸出样品表面，称为二次电子。二次电子来自样品表面十几纳米的区域，其能量小于50eV，不包含与元素相关的信息，用来表征样品的表面信息。
背散射电子（BSE）
入射电子受到样品原子核散射而大角度反射回来的电子称为背散射电子，其产额随原子序数的增加而增加，可用于形貌及成分分析。
如何评价扫描电镜图片
1.分辨率高，显微结构清晰可辨
2.衬度适中，图像中无论黑区或白区的细节都能看清楚
3.信噪比好，没有明显的雪花状噪声
4.景深好，图像没有局域的欠焦或过焦现象
扫描电镜观察常见的问题：荷电现象
采用喷镀（Au、Pt、C…）方式消除荷电现象:
1.表面导电 → 降低荷电
2.增加导热性能 → 降低电子束损伤
3.增加信号激发效率
4.降低操作技术要求
在不喷镀金属层（使用离子溅射仪等）的情况下:
1. 降低加速电压或使用减速模式
2.减少照射电流
4. 改变Capture条件
5. 制样技巧
6. 低真空工作
