电子显微镜是国家科委统管共用的23种大型精密仪器之一，它的应用已扩展到物理、化学、生物、医学、地学、材料科学等很多领域，对这些学科的发展正起着越来越大的推动作用，同时，电子显微镜也是一种昂贵、复杂的精密仪器，管理、使用、维修都需专门的知识，如何使其长期处于正常的工作状态，提高工作效率是每一位电镜工作者的基本职责。

下面简要谈一下电镜的日常维护：

       1 日常维护

       1.1 保持电镜室的洁净，室内温度要求在20±5℃，湿度在65％以下。这些条件可通过空调、门窗、排气扇等来达到。

       1.2 长期保持镜筒在一定的真空状态，即使电镜不工作期间，也要做到每星期排气1～2次，以防镜筒内部锈蚀。

       1.3 机械泵的油量必须保持在窗口油位刻线的水平上，并定期用热偶规真空计测定其排气性能，以确定机械泵油是否需要换。如用直观的方法观察到窗口油的颜色呈茶色，说明油需要换。

       1.4 定期更换机器内扩散泵油。

       1.5 定期清洗镜筒，确保电子光路的正常工作。清洗的范围是电子束经常照射的有关易污染部件，如各活动光栏、样品杯、电子枪室等。清洗的方法有所区别，如光栏有真空喷涂仪加热清洗，电子枪室用酒精和内酮按1：1混合用棉球清洗，但不论清洗哪一个部件，最好少用或不用抛光膏。

       1.6 定期开启电镜各功能部分，每次时间不应小于1小时，防止电气元件的老化。

       1.7 定期检测电镜X射线的泄漏情况。