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电子显微镜的日常检修方法

苏州苏童半导体有限公司  2022-06-29 16:03:38 作者:SystemMaster
 故障的检修
       电镜是由电源系统、真空系统、成像系统(镜,筒)三大部分组成。如出现故障,首先应判断故障的大体部位,然后逐级检查,将导致故障的范围逐渐缩小,最后查出故障的元件。
       1.1 初步检查:故障出现后,切不可带也盲动,更不可乱拆乱卸。要用眼看(如电脑程序混乱、元件脱落、打火等现象),耳听(如声音的异常),鼻嗅(如高压放电的嗅氧味、元器件被烧的气味),手摸(元件是否发热等)来检查。    
       1.2 判断部位:如初检未能排除故障,就要进一步检查,首先检查各级供电电源的输入、输出信号,确定故障所发生的部位。
       1.3 查找故障的元件:确定故障的部位后,要进一步检查,最后找出发生故障的元器件,采取措施,使仪器恢复正常的工作。
检查的手段很多,这里只介绍仪器检测法和替换法。

(a)仪器检测
       采用示波器、数字电压表、信号发生器、频率计以及万用表等进行检查,速度快、效率高。根据故障的情况,可用不同的仪器进行波形法、电压法、电阻法检查。
       波形法:凡用示波器能测出波形的电路都可用波形法检查。
       电压法:除用波形法外应尽量地使用电压测试的方法,这种方法不必断开元器件,要求维修人员必须熟悉电路和装配工艺。
电阻法:采用电压法虽然价值很大,但当电路出现元件的短路、冒烟、打火等现象时,就必须关掉电源。在这种情况下,就必须用欧姆表来检查元器件的开路、短路、虚焊等故障。

(b)替换法
       这是日前对大型进口仪器较为实用、简便、准确的检查方法。因目前进口的大型仪器随机所带的线路图简单,有时,多个元件被封闭无法检查,所以只能替换同型号机器上的线路板或元件来确认故障的出处。替换时一定要确认机器型号一样,线路板编号一样,元件标号一样,注意安插到位以免短路造成更大的损失。
2.4 维修后的检查:故障排除后,不要立即开机使用,必须对所检查过的部位进行认真复查,确认无误后再开机使用。

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