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仪器型号
Helios 5 CX DualBeam
供应产商
美国Thermo-Scientific
应用工况
半导体材料缺陷表征、器件失效分析和微纳结构设计
仪器型号
Regulus8100和SU8600
供应产商
Hitachi
应用工况
半导体、MEMS器件、生物、材料、能源、金属、陶瓷等各类样品的微观形貌测试和微区元素分析
仪器型号
IM4000PLUSⅡ和E-3500离子研磨
供应产商
Hitachi
应用工况
扫描电镜观察（SEM）和表面分析（EDX，EBSP等）的前处理
仪器型号
Nicolet iN10和Nicolet iS50FT-IR
供应产商
美国Thermo-Scientific
应用工况
污染物鉴别，失效分析，竞争分析，过程支持
仪器型号
共聚焦拉曼光谱仪
供应产商
苏州惟光探真科技有限公司
应用工况
半导体、材料、新能源、刑侦、食品等领域样品中组分、应力、晶化率等物理性质的分布
仪器型号
K-Alpha X 射线光电子能谱仪（XPS）系统
供应产商
美国Thermo-Scientific
应用工况
超导、拓扑绝缘体、化合物半导体、半导体、催化、生物，材料等领域材料表面元素组成分析
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